Установка для финишного плазменного упрочнения УФПУ-111 предназначена для осаждения аморфных покрытий на основе соединений кремния с целью изменения свойств поверхностного слоя: увеличения твердости, уменьшения коэффициента трения, создания сжимающих напряжений, залечивания микродефектов, образования диэлектрического и коррозионностойкого пленочного покрытия с низким коэффициентом теплопроводности, химической инертностью и специфической топографией поверхности. Напряжение питания - 220/380 В; потребляемая мощность – не более 5-12 кВт (в зависимости от комплектации); номинальный ток - 120 А; номинальное рабочее напряжение - не более 42 В; продолжительность включения - 100%; расход аргона - не более 5 л/мин; расход жидких технологических препаратов - не более 0,5 г/ч; расход охлаждающей воды - 180-220 л/ч (при отсутствии блока автономного охлаждения); толщина наносимого покрытия - до 3 мкм;