Вакуумная установка с масляной системой откачки для напыления металлов, полупроводниковых и диэлектрических тонких пленок и покрытий методом ионно-лучевого распыления
Вакуумная установка с безмасляной системой откачки для проведения термической обработки материалов и нанесения покрытий методом термического распыления и конденсации в вакууме не ниже 10^-9 мм.рт.ст.
Вакуумная установка с масляной системой откачки для измерений электрофизических параметров материалов в широком диапазоне температур (-196 ÷ 900°С) и рабочих сред.